精密工学会沼田記念論文賞受賞論文
※「所属」は受賞時の所属です．
| 回・年度 | 受賞者名・所属 | 受賞論文名 | 掲載誌 巻号 |
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| 第28回 2011年度 |
社本 英二 （名古屋大学） 安田 浩一朗 （デンソー） 青木 友弥 （豊田中央研究所） 鈴木 教和 （名古屋大学） 小出 富夫 （村田機械） |
切りくずの連続処理と引張り切削に関する研究 −すくい面形状による切りくず制御の試み− |
精密工学会誌 77巻5号 |
| 楊 平 高村 智彦 高橋 哲 高増 潔 （東京大学） 佐藤 理 大澤 尊光 高辻 利之 （産業技術総合研究所） |
Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy | PE誌 Vol.35, No.4 |
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| 第27回 2010年度 |
木村 彰秀 高 偉 荒井 義和 （東北大学） 曽 理江 （清華大学） |
Design and construction of a two-degree-of-freedom linear encoder for nanometric measurement of stage position and straightness | PE誌 Ｖol.34, No.1 |
| 茨木 創一 澤田 昌広 松原 厚 （京都大学） 松下 哲也 （オークマ） |
Machining tests to identify kinematic errors on five-axis machine tools | PE誌 Ｖol.34, No.3 |
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| 第26回 2009年度 |
田近 英之 高谷 裕浩 林 照剛 （大阪大学） 田名田 祐樹 （大阪大学，現 デンソー） 小久保 研 （大阪大学） 鈴木 恵友 （ソナック） |
水酸化フラーレンスラリーを用いたCu-CMP加工法に関する研究 −研磨特性の検証− |
精密工学会誌 75巻4号 |
| 尾藤 洋一 （産業技術総合研究所） |
High-accuracy displacement metrology and control using a dual Fabry-Perot cavity with an optical frequency comb generator | PE誌 Ｖol.33, No.2 |
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| 第25回 2008年度 |
佐藤 隆太 （東京農工大学，現 三菱電機） 寺島 義道 堤 正臣 （東京農工大学） |
微小変位領域の摩擦特性を考慮した象限突起補償器 | 精密工学会誌 74巻6号 |
| 第24回 2007年度 |
小笠原 宏臣 前田 憲次 林 輝 （小笠原プレシジョンラボラトリー） |
超精密歯車測定装置の基本軸構成について | 精密工学会誌 73巻9号 |
| 園 真 石田 徹 （大阪大学） 寺本 孝司 （室蘭工業大学） 榎本 俊之 竹内 芳美 （大阪大学） |
超精密5軸制御加工におけるセッティング誤差の一般化補正法 | 精密工学会誌 73巻10号 |
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| 諸貫 信行 （首都大学東京） 小木曽 淳一 （オリンパス） 金子 新 （首都大学東京） |
濡れ性パターンを用いた微粒子の自己整列（第1報） −手法の提案と整列条件の検討− |
精密工学会誌 72巻9号 |
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| 萩原 誠一 眞分 幸雄 境 久嘉 茂呂澤 孝浩 山本 英樹 神永 哲也 （ミツトヨ） |
超精密直径測定機の開発 | 精密工学会誌 72巻9号 |
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| 第23回 2005年度 |
大石 進 松崎 靖 （青山学院大学） |
空気静圧ジャーナル軸受における空気膜温度と熱配分割合 | 精密工学会誌 71巻10号 |
| 奥田 貴啓 石丸 伊知郎 （香川大学） 筒井 宏光 （大王製紙） 藤井 義樹 （香川大学） 小林 宏明 （ミツトヨ） |
光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術（第1報） −単層膜を用いた共振波計測と粗面の高周波非接触振動計測技術− |
精密工学会誌 71巻12号 |
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| 第22回 2004年度 |
初澤 毅 森 寛光 やなぎ田 保子 （東京工業大学） |
DNAを用いた微小粒子のナノ位置決め（第1報） −基本原理の提案と実験的検証− |
精密工学会誌 70巻6号 |
| 田口 敦清 三好 隆志 高谷 裕浩 高橋 哲 （大阪大学） |
Optical 3D profilometer for in-process measurement of microsurface based on phase retrieval technique | PE誌 Vol.28,No.2 |
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| 第21回 2003年度 |
齋藤 明徳 堤 正臣 牛久 健太郎 （東京農工大学） |
5軸制御マシニングセンタのキャリブレーション方法に関する研究（第2報） −同時3軸制御運動を用いた位置偏差および角度偏差の推定− |
精密工学会誌 69巻2号 |
| 森 勇藏 芳井 熊安 安武 潔 垣内 弘章 大参 宏昌 （大阪大学） 和田 勝男 （シリコンテクノロジー） |
大気圧プラズマCVD法によるエピタキシャルSiの低温かつ高速成長（第1報） −エピタキシャルSi成長条件の検討− |
精密工学会誌 69巻6号 |
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| 第20回 2002年度 |
高 偉 （東北大学） 星野 唯 （ニコン） 清水 裕樹 清野 慧 （東北大学） |
マルチスポット光源を用いたサーフェスエンコーダの研究 | 精密工学会誌 68巻1号 |
| 宇根 篤暢 （防衛大学校） 大保 誠司 （元防衛大学校） 餅田 正秋 （防衛大学校） |
揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発（第1報） −装置構造と基本研磨特性− |
精密工学会誌 68巻3号 |
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| 第19回 2001年度 |
渡部 司 （計量研究所） ※現・産業技術総合研究所 益田 正 （静岡理工科大学） 梶谷 誠 （電気通信大学） 藤本 弘之 中山 貫 （計量研究所） ※現・産業技術総合研究所 |
ロータリーエンコーダの高精度校正装置の開発(第１報) −校正システムと基礎実験− |
精密工学会誌 67巻7号 |
| 水本 洋 （鳥取大学） 薮谷 誠 上 芳啓 （不二越） 有井 士郎 （鳥取大学） |
静圧案内面を運動縮小機構として利用した超精密位置決めシステムの開発 | 精密工学会誌 67巻9号 |
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| 第18回 2000年度 |
與島 政幸 久住 肇 西山 毅 （日本電気） |
EOプローブを用いた非接触LSIパッケージはんだ接続検査手法の開発 | 精密工学会誌 66巻10号 |
| 第17回 1999年度 |
高橋 健 初澤 毅 （東京工業大学） |
マイクロフォークを用いたタッピングスタイラス | 精密工学会誌 65巻12号 |
| 第16回 1998年度 |
石原 満宏 佐々木 博美 （高岳製作所） |
非走査マルチビーム共焦点撮像系による高速三次元計測 | 精密工学会誌 64巻7号 |
| 第15回 1997年度 |
後藤 博史 池田 正哲 坂田 稔 矢田 恒二 （オムロン） |
機能集積化シリコンマイクロスキャナの開発 | 精密工学会誌 63巻8号 |
| 第14回 1996年度 |
岡本 英明 佐々木 豊春 （ニコン） 田中 文基 岸浪 建史 （北海道大学） |
座標測定における複合形体の形状評価(第１報) −基本概念と定式化− |
精密工学会誌 62巻1号 |
| 第13回 1995年度 |
森山 茂夫 山口 克彦 本間 喜夫 （日立製作所） |
半導体ウエハの化学機械研磨工程における光学式終点検出法 | 精密工学会誌 61巻6号 |
| 第12回 1994年度 |
片岡 俊彦 遠藤 勝義 井上 晴行 （大阪大学） 稲垣 耕司 （味覚糖精密工学研修所） 森 勇藏 （大阪大学） 広瀬 喜久治 （大阪国際女子大学） 高田 和政 （大阪大学） |
球状微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡の開発 | 精密工学会誌 60巻8号 |
| 第11回 1993年度 |
鳥井 昭宏 佐々木 実 羽根 一博 大熊 繁 （名古屋大学） |
The Feasibility of a Precise Linear Displacement Encoder Using Multiple Probe Force Microscope | Int.J.JSPE Vol.27,No.4 |
| 第10回 1992年度 |
松本 弘一 （計量研究所） |
加工表面評価のための２色干渉センサ | 精密工学会誌 58巻11号 |
| 第９回 1991年度 |
笹倉 久仁彦 永山 昭 酒井 昌男 （ＮＴＴ） |
マトリクス差点位置決め用偏光形光センサ | 精密工学会誌 57巻7号 |
| 第８回 1990年度 |
谷口 素也 池田 稔 稲垣 晃 船津 隆一 （日立製作所） |
６自由度微動機構による超精密ウエハ位置決め | 精密工学会誌 56巻6号 |
| 第７回 1989年度 |
津田 展宏 山田 啓文 （計量研究所） 石田 文彦 （東芝） 宮下 正之 山口 正 高 （ニコン） |
大ストロークＳＴＭ | 精密工学会誌 55巻1号 |
| 第６回 1988年度 |
内田 憲男 石橋 頼幸 平野 亮一 菊入 信孝 田畑 光雄 （東芝） |
二重回折格子による間隙変化に鈍感なマスクとウエハの位置合わせ法 | 精密工学会誌 54巻10号 |
| 第５回 1987年度 |
植木 正明 大岩 彰 （計量研究所） |
An Interferometer for Inner Diameter Measurement of Cylinders | Bull. JSPE 21巻1号 |
| 第４回 1986年度 |
桜井 好正 武石 洋征 （千葉工業大学） |
鋼球とオプチカルフラットの接触による変形 | 精密工学会誌 52巻11号 |
| 第３回 1985年度 |
佐々木 健 （日本電気） 小野 勝久 高野 政晴 （東京大学） |
ロボットのための高精度超音波センサの開発研究 | 精密機械 51巻6号 |
| 第２回 1984年度 |
上田 隆司 細川 晃 山本 明 （大阪大学） |
光ファイバを用いた赤外線輻射温度計による研削温度の測定 | 精密機械 50巻12号 |
| 第１回 1983年度 |
森山 茂夫 原田 達男 （日立製作所） |
回折格子を用いた精密変位検出法 | 精密機械 49巻6号 |